为何目前世界上只有荷兰能制造顶级光刻机？

      集成电路配置的晶体管，皆是在晶圆上通过光刻工艺蚀刻出来的，遂光刻工艺就确定了半导体线路的线宽，同时也确定了芯片的性能和功耗。由此决定光刻工艺的光刻机就成了制造芯片最关键设备。

目前我国能开发光刻机龙头企业，当属上海微电子设备公司，可其目前只能生产28nm光刻机，虽能满足国内国防与基础建设需要，但与能生产7nm甚至5nm以下高端芯片的EUV光刻机相比，尚有一定差距。

而世界上能生产EUV光刻机只有荷兰阿斯麦独此一家。也许有人会质疑，现代科技高速发展，为何只有荷兰能制造顶级光刻机呢？

其实光刻机并非我们想象的那么简单，光刻机技术涉及机电一体化、物理、机械、电气、软件和人工智能六大领域，绝非一国科技实力能达成之事。

      即便目前在世界光刻机领域一枝独秀的荷兰阿斯麦公司，也是整合多国高端科技之力，不但有德国知名企业提供精密机械和光学技术支持，甚至还有美国企业提供光源和计量技术支持。

1984年，荷兰阿斯麦公司初成立，原属飞利浦麾下子公司，主攻方向就是研发光刻机，其超前意识当属光刻机领域领头羊。随着世界对芯片技术要求提高，阿斯麦公司也一直未停下前进步伐。2013年，阿斯麦公司成功研发出使用光源为22nm的EUV光刻机，2017年，更精细的使用光源为13nm的EUV光刻机研发成功，使细如一根头发万分之一，7nm以下制程的芯片量产成为现实。自此阿斯麦公司直接将死对头日本佳能与尼康逼入绝境，不但在45nm以下制程高端光刻机市场中，拥有80%以上市场份额，甚至在EUV光刻机领域已近100%市场份额，妥妥的独家供货，成为世界光刻机领域王者之尊，垄断了世界芯片命脉。于是EUV光刻机作为量产10nm以下芯片必备设备，因其科技高附加值，价格一路飙高，每台售价竟达到1.2亿美元，甚至有时有钱都不一定能买到。

一个国家科技能力再强大，也只能说在某些领域处于顶尖地位。而荷兰阿斯麦之所以能一招鲜赢天下，就因其零部件整合世界各国顶尖技术，以弥补自身短板。譬如光刻机较为重要的镜头，阿斯麦公司就进口德国蔡司产品，几乎皆由蔡司祖传匠人独家打磨，其他国家鲜有能够达到这一标准；除此之外，光刻机对于光源要求同样较高，阿斯麦公司光刻机的光源由美国CYMER公司独家提供，后来为了方便直接收购美国CYMER公司。可以说阿斯麦公司集百家之大成，无论世界半导体三巨头英特尔、三星、台积电竞争如何白热化，阿斯麦只稳坐钓鱼台坐等收钱，因为三巨头谁也不敢得罪它。

光刻机开发提上日程

       国产芯片想要继续突破，就需要在芯片最重要的制造设备光刻机上多做努力。9月16日，中国科学院院长白春礼在接受媒体采访时突然宣布了一则喜讯，白春礼表示：“我们要将美国‘卡脖子’的设备清单，转变成我们的科研任务进行布局。”作为芯片制造设备中最为关键的设备，光刻机的科研任务更是确定被提上日程。

      此前，中国半导体行业对于芯片制造设备投入的资金并不大，根据相关数据统计：2019年在芯片材料和设备的投资占比中，仅占据了全行业的13%。但由于华为芯片事件所带来的影响，2020年第一季度材料和设备的投资，就增到了15.3%的占比，IC设计的占比有所下滑。产业链各端开始重视芯片的原材料以及制造设备，这也是非常要的一点。

      如今，光刻机的科研工作也被提上日程，对于中国半导体行业而言无疑是非常好的局面。在一系列高难度技术问题的攻关之下，中国芯片将会逐渐走向繁荣盛强。